چکیده :

این پروژه با عنوان بررسی و معرفی سیستم های نانو الکترومکانیک (NEMS) برای دانلود آماده شده است .سیستم های نانو الکترومکانیک فناوری سیستم‌های بسیار کوچک در ابعاد نانومتر است. NEMS معمولاً شامل ترکیبی از ترانزیستورها (الکتریکی) و سنسورها و موتورها (مکانیکی) است.یک سیستم نانو الکترومکانیک (NEMS) از یک تشدیدگر مکانیکی با درجه بندی نانومتر –به- میکرومتر تشکیل می شود که به یک ابزار الکترونیک دارای ابعاد قابل قیاس مزدوج می شود.

، تشدیدگر مکانیکی می تواند یک شکل هندسی ساده داشته باشد مثل یک طرّه یا یک پل و از موادی مثل سیلیکون با استفاده از تکنیک های لیتوگرافی مشابه به نمونه های به کار رفته برای ساختن مدارهای ترکیبی ساخته می شوند. NEMS نوید میکروسکوپ نیروی فراحساس سریع و عمیق شدن فهم ما از چگونگی پیدایش دینامیک کلاسیک با نزدیک شدن به دینامیک کوانتوم می باشد. به خاطر سایز بسیار کوچک انتظار می رود NEMS تاثیر زیادی بر بخش های بزرگی از علوم و تکنولوژی بگذارد و در نهایت جایگزین MEMS شود.

همانطور که ریچارد فاینمن در سال ۱۹۵۹ در مقاله معروف خود گفت : آن پایین فضای زیادی وجود دارد، می توان هر روز دستگاه های کوچکتر و کوچکتری تولید کرد که باعث صرفه جویی در هزینه ها و بالا بردن بازدهی شود.اولین محصول NEMS نوک میکروسکوپ نیروی اتمی ساخته شده توسط IBM بود، که باعث بالا بردن حساسیت میکروسکوپ نسبت به لرزش ها، نیروها و سیگنال های شیمیایی در سطح اتمی شد.به طور آزمایشی از NEMS انتظار می رود که امکان تحقیق بر فرآیندهای مکانیکی متعادل فونون و واکنش کوانتوم سیستم های مکانیکی مزوسکوپیک را فراهم آورد. با وجود این، هنوز چالش های ریشه ای و تکنولوژیکی برای بهینه سازی NEMS وجود دارد.

فهرست مطالب :

چکیده
مقدمه
فصل ۱- ویژگی های NEMS
۱-۱- NEMS به عنوان ابزارات الکترومکانیک چند قطبی
۱-۲- فرکانس
۱-۳- ضریب کیفیت Q
۱-۴- مشخصه عملکرد توان عملیاتی
۱-۵- پاسخ گویی ( واکنش پذیری)
۱-۶- دامنه دینامیک موجود
۱-۷- توده فعال
فصل ۲- چالش های اصولی
۲-۱- جستجوی Q بالا
۲-۲- نویز فاز
۲-۳- توسعه مبدل ها
۲-۴- ساخت نانوقابل تولید مجدد
فصل ۳- کاربرد پدید آمده ( آغازین)
فصل ۴- بررسی NEMS
فصل ۵- سیستم تشدیدگر SET- نانومکانیکی
۵-۱- معادله اصلی
۵-۲- راه حل حالت ثابت (پایدار)
۵-۳- دینامیک تشدیدگر مکانیکی در رژیم تزویج ضعیف
فصل ۶- دینامیک متعادل موثر دیگر NEMS ها
فصل ۷- نتایج